使用氣體質(zhì)量流量控制器注意事項
1.怕粉塵, 若粉塵進(jìn)到氣體質(zhì)量流量控制器內部會(huì )阻塞傳感器和分流器, 導致數據誤差, 所以建議在MFC進(jìn)氣口前加裝過(guò)濾裝置;
2.怕液體和油漬進(jìn)到MFC, 一旦有液體進(jìn)入到MFC內部會(huì )導致無(wú)法控制,所以建議在MFC進(jìn)氣口前端還要加裝干燥裝置, 假如MFC的出口接有液體罐, 也要在MFC出口再加上單向閥, 避免液體流回;
3.怕應用濕冷的腐蝕性氣體, 潮濕的腐蝕性氣體會(huì )使不銹鋼生銹, 導致MFC通道毀壞, 因而在應用腐蝕性氣體前, 要對氣體和MFC管路系統開(kāi)展烘干解決;,并且在通腐蝕性氣體前要檢查管路的氣密性,還要使用惰性氣體對管路進(jìn)行吹掃,然后再通腐蝕性氣體,等MFC工作結束后還要使用惰性氣體再次吹掃一遍管路,保證管路中不會(huì )殘存腐蝕性氣體。
4.怕在應用強腐蝕性、有毒有害及yiranyibao氣體時(shí)不按安全性標準實(shí)際操作, 這樣有可能導致人身及商品毀壞和其他明顯的損害。
5.使用MFC前還需要將MFC進(jìn)行通電預熱,保證MFC在不通氣時(shí),瞬時(shí)流量處于0的位置,如果不通氣時(shí),瞬時(shí)流量顯示有一定的數值,表示傳感器出現“零漂”現象,可以先對MFC進(jìn)行調零處理,否則將影響MFC的精度。
氣體質(zhì)量流量控制器工作原理
氣體進(jìn)入進(jìn)氣管道接頭后大部門(mén)流量流過(guò)分流器通道,其中很小一部門(mén)進(jìn)入傳感器內部的毛細鋼管。因為分流器通道的特殊結構,可以實(shí)現這兩部門(mén)氣體流量成正比例關(guān)系。傳感器經(jīng)由預熱加溫,里面的溫度高于進(jìn)入的氣流溫度,此時(shí)通過(guò)毛細鋼管傳熱和溫差量熱法原理丈量這一小部門(mén)氣體的質(zhì)量流量。用這種辦法測出的氣體流量可以忽略溫度和壓力的影響,將傳感器測得的流量檢測信號輸入電路板,經(jīng)由放大后輸出,就完成了MFM的功能。將電路板中加入PID閉環(huán)自動(dòng)控制功能,把傳感器測得的流量檢測信號與用戶(hù)給出的設定信號進(jìn)行比較,以此為基礎控制調節閥,使得流量檢測信號與設定信號相等,這樣便實(shí)現了MFC的功能。
通訊方式的熱式氣體質(zhì)量流量控制器
在直徑較細的感應管中放置兩對加熱器,并將其控制在同一溫度。當流體流動(dòng)時(shí),氣體將上游的部分熱量帶給下游,而下游的加熱器從上方獲取熱量溫度上升。這時(shí),利用上下加熱器之間產(chǎn)生的溫度差和流體的質(zhì)量流量成比例的原理,來(lái)測定流量。熱式流量計傳感器包含兩個(gè)傳感元件,一個(gè)速度傳感器和一個(gè)溫度傳感器。它們自動(dòng)地補償和校正氣體溫度變化。儀表的電加熱部分將速度傳感器加熱到高于工況溫度的某一個(gè)定值,使速度傳感器和測量工況溫度的傳感器之間形成恒定溫差。當保持溫差不變時(shí),電加熱消耗的能量,也可以說(shuō)熱消散值,與流過(guò)氣體的質(zhì)量流量成正比,它適合單一氣體和固定比例多組份氣體的測量。